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NCシリコンウエーハ端面研削盤WX-7421
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机床用途与性能特征: 1、本机床用于太阳能行业单晶、多晶硅材料长方体的平面磨削加工,表面镜面抛光循环磨削功能,对原来硅锭的平面垂直度起到修整功能,确保硅锭四面及棱边的损伤层有效的去除。 2、控制系统采用日本三菱系统。 3、采用机械方式自动对中心磨削、自动压紧,定位准确,固定可靠;磨削表面光洁度高。 4、砂轮进给采用三菱伺服电机驱动滚珠丝杠,具有很高定位精度,以保证获得两平面间的尺寸误差。 5、机床所有电气元器件均采用三菱、施耐德等国际国内知名品牌产品,保证机床控制系统稳定可靠。
磨削后工件的公差及表面粗糙度 |
两平面平行度 |
0.01mm |
垂直度 |
0.02mm |
尺寸误差 |
0.02mm |
粗糙度 |
Ra0.2m | |
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工件规格 |
125×125/156×156mm |
工件长度 |
max500mm |
砂轮主轴数 |
2个 |
砂轮尺寸 |
Ф200×Ф70×Ф190mm |
切削(研磨)速度 |
0.01--15m/min |
端面砂轮最小进给量 |
1um |
砂轮线速度 |
35m/s |
总功率 |
3kw |
机床外形尺寸(长X宽X高) |
2000X1950X1350mm |
机床重量 |
3000kg |
冷却水接口 |
R1/4〞,25L/min | |
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